電容式微咪頭原理
電容式微咪頭原理
MEMS 微咪頭是一種微型的傳感器。其原理是利用聲音變化產(chǎn)生的力梯度使電容式微咪頭的聲學振 膜受聲壓干擾而產(chǎn)生形變，進而改變學振膜與硅背極板之間的電容值。
該電容值的變化由電容電壓轉(zhuǎn)換 電路轉(zhuǎn)化為電壓值的輸出變化， MEMS 傳感器產(chǎn)生得到電壓放大輸出， 從而將聲壓信號 轉(zhuǎn)化成電壓信號。在此必須采用一個高阻抗的電阻為 MEMS 傳感器提供一個偏置電壓 VPP ，借以在 MEM S 傳感器上產(chǎn)生固定電荷， 最后的輸出電壓將與 VPP 及振膜的形變 ? d 成正比。
振膜的形變與其剛性有關， 剛性越低則形變越大;另一方面，輸出電壓與 d(氣隙 )成反比，因此氣隙越低，則輸出電壓及靈敏度越優(yōu)， 但這都將受限于 MEMS 傳感器的吸合電壓，也就是受限于 MEMS 傳感器靜電場的最大極限值
